Добрый день, Светлана. Лучше теплый пол положить под ОСБ, а сверху сразу клеить плитку. Не забудьте положить под теплый пол теплоизоляцию 3мм. Когда будите крепить ОСБ не повредите креплением графитовые и токоведущие полосы.